| 專利名稱 | 發(fā)明人 | 申請?zhí)?/th> | 申請日期 |
|---|---|---|---|
| 金屬柵CMP后的制程監(jiān)控方法 | 楊濤，趙超，李俊峰，閆江，陳大鵬; | 201110150043.4 | 2011-06-03 |
| 后柵工藝移除多晶硅假柵制程的監(jiān)控方法 | 楊濤，趙超，李俊峰，閆江，陳大鵬; | 201110149722.X | 2011-06-03 |
| 化學機械平坦化后清洗晶圓的方法 | 楊濤，趙超，李俊峰; | 201110149721.5 | 2011-06-03 |
| 避免半導體制程菜單調(diào)試過程中出錯的方法及系統(tǒng) | 李春龍，李俊峰; | 201110139608.9 | 2011-05-26 |
| 燃料電池的MEMS制造方法 | 李春龍，趙超; | 201110133383.6 | 2011-05-23 |
| 燃料電池極板的MEMS制造方法 | 李春龍，趙超; | 201110134239.4 | 2011-05-23 |
| 提高淺溝槽隔離化學機械平坦化均勻性的方法 | 楊濤，劉金彪，李俊峰，趙超; | 201110125319.3 | 2011-05-16 |
| 感應柵型非晶態(tài)金屬氧化物TFT氣體傳感器 | 殷華湘，陳大鵬; | 201110117657.2 | 2011-05-09 |
| 可集成的非晶態(tài)金屬氧化物半導體氣體傳感器 | 殷華湘，陳大鵬; | 201110117658.7 | 2011-05-09 |
| 具有高擊穿電壓的HEMT及其制造方法 | 趙超, 羅軍, 陳大鵬，葉甜春; | 201110116103.0 | 2011-05-05 |
| 避免氧化爐管污染的方法 | 李春龍，李俊峰; | 201110104371.0 | 2011-04-25 |
| 半導體器件制造方法 | 蔣葳，于偉澤，張亞樓，尹海洲; | 201110104317.6 | 2011-04-25 |
| 半導體器件及其制造方法 | 羅軍，趙超，鐘匯才，李俊峰; | 201110104362.1 | 2011-04-25 |
| 防止積留水液的熱氧化系統(tǒng)和方法 | 李春龍; | 201110109430.3 | 2011-04-25 |
| 用于保持熱預算穩(wěn)定的加熱方法 | 李春龍; | 201110104354.7 | 2011-04-25 |
科研產(chǎn)出