| 專(zhuān)利名稱 | 發(fā)明人 | 申請(qǐng)?zhí)?/th> | 申請(qǐng)日期 |
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| 改善微機(jī)械非制冷紅外成像芯片中反光板平整度的方法 | 歐毅，史海濤，陳大鵬，景玉鵬，李超波，焦斌斌; | 200710178317.4 | 2007-11-28 |
| 一種微尖端陣列器件及其制作方法 | 陳大鵬，傅劍宇，景玉鵬，歐毅，葉甜春; | 200710176936.X | 2007-11-07 |
| 一種電磁驅(qū)動(dòng)推拉式射頻微機(jī)電系統(tǒng)開(kāi)關(guān) | 李全寶，景玉鵬，陳大鵬，歐毅，葉甜春; | 200710117611.4 | 2007-06-20 |
| 一種雙穩(wěn)態(tài)單晶硅梁射頻微機(jī)電系統(tǒng)開(kāi)關(guān) | 李全寶，景玉鵬，陳大鵬，歐毅，葉甜春; | 200710064876.2 | 2007-03-28 |
| 一種氣敏傳感器標(biāo)定和可靠性測(cè)試系統(tǒng) | 黃欽文，陳大鵬，景玉鵬，歐毅，葉甜春; | 200710063698.1 | 2007-02-07 |
| 紅外探成像裝置 | 董立軍; | 201120046894.X | 2011-02-23 |
| 一種溝道式電容器的制作方法 | 呂垚，李寶霞，萬(wàn)里兮; | 200910077670.2 | 2009-02-11 |
| 用于雙腔式結(jié)構(gòu)等離子體浸沒(méi)離子注入的隔板裝置 | 劉杰 汪明剛 夏洋 李超波 羅威 羅曉晨 李勇滔; | 201020250591.5 | 2010-07-07 |
| 一種等離子體浸沒(méi)離子注入系統(tǒng) | 李超波 劉杰 汪明剛 夏洋 羅威 羅小晨 李勇滔; | 201020247215.0 | 2010-07-05 |
| 等離子體浸沒(méi)離子注入設(shè)備 | 劉杰 汪明剛 夏洋 李超波 羅威 羅曉晨 李勇滔; | 201020238000.2 | 2010-06-25 |
| 等離子體浸沒(méi)注入機(jī)的注入離子劑量檢測(cè)控制裝置. | 汪明剛 劉杰 夏洋 李超波 陳瑤 趙麗莉 李勇滔; | 201020293992.9 | 2010-08-17 |
| 一種二氧化二氧化硅犧牲層釋放系統(tǒng) | 王磊，景玉鵬; | 200920350781.1 | 2009-12-30 |
| 二氧化碳緩沖硅片打孔裝置 | 景玉鵬，惠瑜; | 200910083506.2 | 2009-05-06 |
| 石英晶圓深微孔加工設(shè)備及方法 | 羅小光，劉茂哲，李全寶，高超群，景玉鵬; | 200710178773.9 | 2007-12-05 |
| CMOS/MEMS兼容光譜式氣敏傳感器 | 景玉鵬，高超群; | 200910080060.8 | 2009-03-18 |
科研產(chǎn)出