| 專利名稱 | 發(fā)明人 | 申請(qǐng)?zhí)?/th> | 申請(qǐng)日期 |
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| 平板式等離子體增強(qiáng)化學(xué)汽相淀積設(shè)備的反應(yīng)室結(jié)構(gòu) | 劉訓(xùn)春, 周宗義, 李兵, 張育勝, 王佳, 張永利; | 200710303894.1 | 2007-12-26 |
| 一種消除反應(yīng)離子刻蝕自偏壓的方法及系統(tǒng) | 劉訓(xùn)春，王佳，周宗義，李兵，王建海，黃清華; | 200810223342.4 | 2008-09-26 |
| 實(shí)現(xiàn)將光纖陣列插入微孔陣列的裝置及方法 | 李寶霞, 萬里兮; | 200710179351.3 | 2007-12-12 |
| 基于埋入電容的寬帶低通高頻濾波器 | 萬里兮, 高巍; | 200710179859.3 | 2007-12-19 |
| 一種接收有源區(qū)位于斜面上的光電探測(cè)器的制造方法 | 申華軍, 李志華, 楊成樾, 萬里兮, 李寶霞; | 200710121369.8 | 2007-09-05 |
| 光電器件陣列與光纖陣列的無源耦合方法及其組件制備 | 李寶霞, 萬里兮; | 200710121368.3 | 2007-09-05 |
| 一種非制冷紅外成像焦平面陣列探測(cè)器 | 焦斌斌, 李超波, 陳大鵬, 葉甜春; | 200710062982.7 | 2007-01-24 |
| 光-機(jī)械式雙層結(jié)構(gòu)非制冷紅外成像焦平面陣列探測(cè)器 | 焦斌斌, 李超波, 陳大鵬, 葉甜春; | 200710062983.1 | 2007-01-24 |
| 一種紅外光學(xué)成像裝置 | 焦斌斌, 陳大鵬, 歐毅, 景玉鵬, 葉甜春, 張青川; | 200710063700.5 | 2007-02-07 |
| 基于場(chǎng)致電子發(fā)射原理的微尖端陣列器件及其制作方法 | 傅劍宇, 陳大鵬, 景玉鵬, 歐毅, 葉甜春; | 200710177795.3 | 2007-11-21 |
| 一種制備金屬柵電極的方法 | 周華杰, 徐秋霞; | 200710178281.X | 2007-11-28 |
| 一種調(diào)節(jié)全硅化金屬柵的柵功函數(shù)的方法 | 周華杰, 徐秋霞; | 200710178324.4 | 2007-11-28 |
| 微電子機(jī)械系統(tǒng)光學(xué)解復(fù)用器芯片的制備方法 | 歐毅, 陳大鵬, 孫雨南, 崔芳, 董立軍, 劉輝, 韓勁東; | 200710064865.4 | 2007-03-28 |
| 一種抗水流沖擊的體硅腐蝕配套設(shè)備 | 石莎莉, 陳大鵬, 景玉鵬, 歐毅, 葉甜春; | 200710064861.6 | 2007-03-28 |
| 帶自支撐框架的全鏤空結(jié)構(gòu)光調(diào)制熱成像焦平面陣列 | 焦斌斌，陳大鵬，歐毅，葉甜春; | 200920311648.5 | 2009-09-28 |
科研產(chǎn)出