| 專(zhuān)利名稱(chēng) | 發(fā)明人 | 申請(qǐng)?zhí)?/th> | 申請(qǐng)日期 |
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| 穿硅通孔結(jié)構(gòu)及其形成方法 | 趙超,陳大鵬,歐文; | 201110036024.9 | 2011-02-11 |
| 一種嵌入?yún)^(qū)的形成方法以及嵌入源漏的形成方法 | 王鶴飛,駱志炯,劉佳; | 201110129620.1 | 2011-05-18 |
| 半導(dǎo)體器件的制造方法 | 鐘匯才,羅軍,趙超,梁擎擎; | 201110236626.9 | 2011-08-17 |
| 互連結(jié)構(gòu)及其形成方法 | 鐘匯才,梁擎擎,朱慧瓏,趙超; | 201110092126.2 | 2011-04-13 |
| 半導(dǎo)體器件及其形成方法、封裝結(jié)構(gòu) | 鐘匯才,梁擎擎,閆江,趙超; | 201110112565.5 | 2011-04-30 |
| 嵌入式源/漏MOS晶體管及其形成方法 | 鐘匯才,趙超,梁擎擎,; | 201110112309.6 | 2011-04-29 |
| 半導(dǎo)體器件及其編程方法 | 鐘匯才,梁擎擎,趙超,朱慧瓏; | 201110112295.8 | 2011-04-29 |
| 淺溝槽隔離及其形成方法 | 殷華湘,徐秋霞,陳大鵬; | 201110048000.5 | 2011-02-28 |
| 半導(dǎo)體器件及其制造方法 | 殷華湘,徐秋霞,陳大鵬; | 201110090704.9 | 2011-04-12 |
| 化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備及化學(xué)機(jī)械拋光方法 | 朱慧瓏,鐘匯才,梁擎擎,趙超; | 201110106990.3 | 2011-04-27 |
| 界面層的形成方法 | 熊文娟,李俊峰,徐秋霞; | 201110130077.7 | 2011-05-18 |
| 多晶硅柵極的制造方法 | 熊文娟,李俊峰,徐秋霞; | 201110138214.1 | 2011-05-26 |
| 一種薄膜填充方法 | 孟令款; | 201110070705.7 | 2011-03-23 |
| 一種研磨墊清洗方法和裝置 | 楊濤,趙超,李俊峰; | 201110066718.7 | 2011-03-18 |
| 金屬源漏SOI MOS晶體管及其形成方法 | 趙超,羅軍,鐘匯才,王文武; | 201110161231.7 | 2011-06-15 |
科研產(chǎn)出